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净化工程装修 黄山净化工程 恒荣|合理
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发布时间: 2022-12-08 18:05
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相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,净化工程设计安装,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。
对于硅片生产温度范围为35—45%。
洁净室中的温湿度控制。
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。
随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。



10级:主要用于带宽小于2微米的半导体工业。
其空气净化要求仅次于1级,黄山净化工程,并且我国半导体技术也在发展之中,在未来对洁净度的要求更加高。
1000级一般只对尘埃浓度做要求,用于光学器件,仪器等高精仪器等10000级,用于液压设备的生产,和一些食品饮料的生产。
100000级,这个级别比较的低,对净化度要求不是很高,主要在印刷厂,包装厂等。
具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。
例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。



布置工艺的流程尽可能短,减少交叉往复,、物流走向合理。
要配备人员净化室、物料净化室,除配备产品工序要求的用室外,还应配备洁具室、洗衣间、暂存室等,每间用室相互独立,净化工程的面积应在保证基本要求前提下,与生产规模相适应。
净化工程在设计时,工程的墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板,其特点为美观、刚性强。
圆弧墙角、门、窗框等一般采用氧化铝型材。
设计净化系统组织的原则是相邻二级过滤器的效率不能太接近,也不能相差太大。
一般采用初效、中效、亚(或)三级过滤器。
也可分四级,增加一级过滤器。



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